Monokristályos szilícium előállítási módszerek
Nov 06, 2025
A monokristályos szilícium előállításához polikristályosból monokristályossá kell átalakulni, vagyis az atomok a folyadékfázisban lévő véletlenszerű elrendezésből közvetlenül rendezett elrendezéssé, aszimmetrikus szerkezetből pedig szimmetrikus szerkezetté alakulnak át. Ez az átalakulás nem globális hatás, hanem fokozatosan a szilárd{1}}folyékony felület mozgása révén valósul meg. Az átalakulási folyamat eléréséhez a polikristályos szilíciumnak szilárd szilíciumból olvadt szilíciummá, majd szilárd kristályos szilíciummá kell átalakulnia. Ezt az utat kell követni ahhoz, hogy monokristályos szilíciumot olvadt szilíciumból előállítsanak. Jelenleg a két legelterjedtebb módszer a Czochralski-módszer és a tégely nélküli lebegőzónás olvasztási módszer. Az ezzel a két módszerrel kapott monokristályos szilíciumot CZ szilíciumnak, illetve FZ szilíciumnak nevezik.




